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X선 센서

Zeelta X선 센서는 단일체 픽셀형 HR-GaAs:Cr 센서입니다. 흡수된 광자는 각각 에너지에 비례하는 전하를 만들고, 이 전하는 하나의 픽셀에 모여 ASIC으로 판독됩니다. 검출기는 광자를 세고 에너지별로 분류합니다.

주요 사양

변환 방식
직접 변환, 반도체
검출 모드
에너지 판별 광자계수
픽셀 피치
35 µm부터
밀도 분해능
에너지 채널당 약 4,000단계 회색조
인터페이스
광자계수 판독 ASIC과의 플립칩 본딩용 금속 전극
수명
높은 내방사선성으로 긴 수명
센서 구조: 알루미늄 전극을 갖춘 고저항 HR-GaAs:Cr 층을 판독 칩(ASIC)에 플립칩 본딩했습니다. 각 픽셀이 독립된 셀입니다.
센서 구조: 알루미늄 전극을 갖춘 고저항 HR-GaAs:Cr 층을 판독 칩(ASIC)에 플립칩 본딩했습니다. 각 픽셀이 독립된 셀입니다.

작동 원리

바이어스 전압이 X선 광자가 만든 전하를 분리합니다. 양전하는 하나의 전극으로 이동하므로 사건의 위치가 명확히 정해지고, 전하량으로 광자 에너지를 알 수 있습니다. 가까운 두 사건도 따로 기록됩니다.

섬광체와의 비교

섬광체 검출기에서는 빛이 여러 광전 소자로 퍼집니다. 그래서 공간 분해능이 제한되고 광자 에너지를 측정할 수 없습니다. 직접 변환은 이 한계를 없애 검출 양자 효율을 약 35~40%에서 90% 이상으로 높입니다.

장점

  • 스펙트럼(컬러) 영상: 구조와 함께 원소 조성까지
  • 높은 감도로 생체 시료의 X선 선량 저감
  • 픽셀 피치에 맞는 공간 분해능
  • 시스템 통합 업체를 위한 맞춤 크기

상담 문의

샘플, 사양, 공동 프로젝트는 개별적으로 협의합니다. 문의를 보내시거나 vvv@zeelta.com으로 연락해 주세요.

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