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X線センサー

ZeeltaのX線センサーは、モノリシックな画素化HR-GaAs:Crセンサーです。吸収された光子はそれぞれエネルギーに比例した電荷を生み、1つの画素で収集されてASICで読み出されます。検出器は光子を数え、エネルギーごとに分類します。

主な仕様

変換方式
直接変換、半導体
検出モード
エネルギー弁別付きフォトンカウンティング
画素ピッチ
35 µmから
密度分解能
エネルギーチャネルあたり約4,000階調
インターフェース
フォトンカウンティング読み出しASICへのフリップチップ接合用の金属電極
寿命
高い耐放射線性による長寿命
センサー構造:アルミニウム電極付きの高抵抗HR-GaAs:Cr層を、読み出しチップ(ASIC)にフリップチップ接合。各画素が独立したセルです。
センサー構造:アルミニウム電極付きの高抵抗HR-GaAs:Cr層を、読み出しチップ(ASIC)にフリップチップ接合。各画素が独立したセルです。

仕組み

バイアス電圧が、X線光子によって生じた電荷を分離します。正の電荷は1つの電極に移動するため、事象の位置が一意に決まり、電荷量から光子のエネルギーがわかります。近接した2つの事象も別々に記録されます。

シンチレータとの比較

シンチレータ検出器では、光が複数の光電素子に広がります。そのため空間分解能が制限され、光子のエネルギーも測定できません。直接変換はこの制約を取り除き、検出量子効率は約35〜40%から90%以上に向上します。

特長

  • スペクトル(カラー)イメージング:構造に加えて元素組成も
  • 高感度のため、生体試料へのX線線量を低減可能
  • 画素ピッチに見合った空間分解能
  • システムインテグレーター向けにサイズをカスタマイズ

ご相談ください

サンプル、仕様、共同プロジェクトは個別にご相談を承ります。お問い合わせフォーム、または vvv@zeelta.com までご連絡ください。

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